
Chipmachinemaker ASML aangeklaagd door Nikon om patenten
Het Japanse Nikon sleept de Nederlandse chipmachinefabrikant ASML voor de rechter wegens het onrechtmatig gebruik van gepatenteerde technologie.
Ook ASML's lenzenleverancier Carl Zeiss is door ASML aangeklaagd. Dat maakte Nikon vandaag bekend. ASML verkoopt onder meer chipmachines die gebaseerd zijn op immersietechnologie. Daarbij wordt de lichtbundel waarmee schakelingen worden geëtst op plakjes halfgeleidermateriaal, nog scherper gesteld met behulp van een laagje vloeistof.
Nikon claimt dat het die techniek heeft ontwikkeld en dat ASML er zonder toestemming mee aan de haal is gegaan. Het bedrijf is daarom juridische procedures begonnen in Nederland, Duitsland en Japan. De zaak in Nederland is aanhangig gemaakt bij de rechtbank in Den Haag. De ontwikkeling van immersietechnologie heeft volgens Nikon substantiële en aanhoudende investeringen gevergd. Door daar zonder te betalen gebruik van te maken heeft ASML de concurrentie ondergraven en zijn eigen marktpositie op oneerlijke wijze versterkt, vinden de Japanners.
ASML ontkent
ASML liet RTL Z weten kennis te hebben genomen van de mededeling van Nikon. "We zullen dit bericht bekijken en er op een later moment op reageren. ASML ontkent met klem dat het op enigerlei wijze inbreuk maakt op patenten van Nikon. We zullen ons krachtig verweren in elke rechtszaak", aldus het bedrijf.
Nieuwe euv-technologie
In Bright TV zag je onlangs een reportage over ASML en de opvolger van de immersietechnologie, extreem ultra-violet (euv). Met de nieuwe euv-machines kunnen chipfabrikanten de komende jaren nog kleinere en zuinigere chips maken.
Bekijk ook ons interview met ASML-manager Jan Willem van der Horst:
Geen video's missen? Subscribe op het Bright YouTube-kanaal




