Award voor ASML-uitvinders van chipmachine

Erik Loopstra en de Nederlands-Russische Vadim Banine hebben een belangrijke prijs gewonnen voor hun methode om computerchips kleiner, sneller en krachtiger te maken. "We zijn hier jaren mee bezig geweest."

Loopstra en Banine zijn beide werkzaam bij ASML, de Nederlandse fabrikant van halfgeleiderapparaten. Al in 1998 legde Loopstra de grondbeginselen voor zijn huidige uitvinding waarmee computerchips zoveel sneller en krachtiger worden, vertelt hij vanuit Parijs.

Hier heeft hij net de European Inventor Award Publieksprijs 2018 van het Europese octrooienbureau in ontvangst genomen. Een 'heel bijzonder moment'. "Vanaf het begin heb ik heel veel patenten vastgelegd", vertelt hij. ​"Alleen als je je ideeën in octrooien vastlegt, heb je vrijheid van handelen. Zelfs als iemand anders later hetzelfde idee heeft, kun je namelijk doorgaan met de ontwikkeling van jouw eigen uitvinding."

Kleine, superchips

Wat hij heeft uitgevonden, is voor leken geen makkelijk verhaal. "We hebben een machine gemaakt, ter grote van een dubbeldeckstreincoupé, die geometrische patronen op siliciumwafers kan etsen. We kunnen hierdoor hele kleine lijntjes op de computerchips maken", vertelt hij.

Die kunnen hierdoor super veel opslaan en dus kleiner worden gemaakt, legt Loopstra uit. En dat is weer erg interessant voor bedrijven als Samsung, zegt hij. "Kleinere lijntjes betekent voor dat soort bedrijven een enorme winst. Bovendien concurreren bedrijven ook op betere en snellere chips."

Steeds kleinere, krachtiger chips noemen de uitvinders van cruciaal belang voor verdere technologische ontwikkelingen in het digitale tijdperk. Of zoals EOB-voorzitter Benoît Battistelli zegt in een persbericht: "Kleinere, krachtiger microchips zullen een impuls geven aan ontwikkelingen op allerlei gebied, variërend van consumentenelektronica tot zelfrijdende auto's en kunstmatige intelligentie."

Krachtige laser

​Het etsen van die dunne lijntjes in de chip gebeurt via het zogenoemde EUVL-productiesysteem, een krachtige laser die op minuscule druppels tin schiet. Dat creëert een zogeheten ultraheet plasma dat extreem ultraviolette straling genereert. Een optisch systeem met spiegels geleidt dit licht vervolgens naar de silicumlaag van de chip.

"Optica worden niet meer gemaakt van lenzen, maar bestaan uit het gladste spiegelsysteem ter wereld", zegt Erik Loopstra. Hij legt uit dat als een van de spiegels van het EUVL-systeem vergroot zou worden tot de omvang van Duitsland, of 1000 km breed, de grootste afwijking minder zou zijn dan de breedte van een mensenhaar.

'Samenwerking de echte prestatie'

Volgens Loopstra was de uitvinding zelf niet het moeilijkste. "Het samenwerken met veel mensen gedurende twee decennia en diverse bedrijven wel. Dat is echt een prestatie geweest." Hij benadrukt daarbij wel dat het zonder de teams bij ASML en Zeiss, de Duitse fabrikant van optica, niet was gelukt. 

Staan bedrijven nu in de rij? "Daar kan ik niets over zeggen, maar wij gaan niet achterover leunen en willen de chips nog kleiner, krachtiger en sneller maken."Op de vraag of dat gaat lukken, zegt hij: "Ik ben vol vertrouwen."